行星減速機在當今的工業領域上是不可獲缺的，它是人類工業歷史上的偉大發明。行星減速機的發展有相當長的歷史。
在南北朝時期，數學家袓沖之就發明了具有錐齒輪行星差動傳動的指南車；從19世紀開始，由于工程機械行業的迅速崛起，也使行星傳動行業的使用范圍擴大，進一步促進了行星齒輪減速機的發展；1951年德國首先成功研制了高速大功率行星齒輪傳動裝置，并廣泛應用于船舶、航空及工程機械以及軍事等領域。隨后，世界各國都開始大力發展這種技術并且不斷創新。
在改革開放以來，我國在行星減速機領域有很大發展，特別是最近幾年，隨著中央提出“中國制造2025”及其節能減排，提高工業化水平政策后，在行星減速機領域出現井噴式發展。但相對于國外來說，我國在領域的技術相對落后，一些關鍵技術領域被國外所壟斷。這也我們所要發展的方向。
好的行星減速機材料，有利于提高齒輪減速機的承載力及使用壽命。
針對精密減速機的結構特點和齒輪的載荷性質，應該廣泛采用硬齒面齒輪。獲得硬齒面齒輪熱處理方法有很多。如表面淬火、整體淬火、滲碳淬火、滲氮等，應根據齒輪行星減速機的特點選定。
1.表面淬火
常見的表面淬火方法有高頻淬火（對小尺寸齒輪）和火焰淬火（對大尺寸齒輪）兩種。表面淬火的淬硬層包括齒根底部時，其效果最好。齒面硬度可達45-55HRC.
2.滲氮
采用滲氮可保證齒輪在變形最小的條件下，達到很高的齒面硬度和耐磨性，熱處理后不再進行最好的精加工，提高了承載能力。
3.滲碳淬火
滲碳淬火齒輪具有相對較大的承載能力，但必須采用精加工工序（磨齒）來消除熱處理變形，以保證精度。
滲碳淬火齒輪常用滲碳前碳的分數為0.2%-0.3%的合金鋼，其齒面硬度常在58-62HRC范圍內，若低于57HRC時，硬面強度顯著下降，高于62HR則脆性增加。滲碳淬火齒輪的硬度，從齒輪表面至深層逐漸降低，而有效滲碳深度規定為表面至硬度5.25HRC處的深度。
滲碳淬火在齒輪彎曲疲勞強度方面的作用除使心部硬度有所提高外，還在于表面的殘余壓應力。它可使最大壓應力區的應力減小，因此磨齒時不能磨齒根部分。
